機(jī)械真空泵系統(tǒng)中每臺(tái)單泵和泵組間都設(shè) 有溫度防護(hù)。每臺(tái)泵的進(jìn)氣管路和排氣管路都設(shè) 有溫度傳感器。當(dāng)某級(jí)泵進(jìn)氣、排氣管路溫度在 正常值范圍內(nèi)時(shí)，泵組依據(jù)壓力 - 頻率曲線，改 變運(yùn)行頻率。

當(dāng)監(jiān)測(cè)出真空泵入口或出口溫度超高報(bào)警值，系統(tǒng)認(rèn)定為真空泵運(yùn)行溫度過(guò)高，發(fā)出報(bào)警 提示用戶(hù)。系統(tǒng)將自檢泵體冷卻水流量、電機(jī)電 流負(fù)載、泵入口氣體溫度、泵出口氣體溫度。根據(jù) 故障點(diǎn)調(diào)用處理程序或故障解決方案至系統(tǒng)頁(yè) 面。如入口溫度值過(guò)高發(fā)生報(bào)警時(shí)，入口溫升 - 降頻曲線投入使用，限制泵組的運(yùn)行頻率，防止 泵體發(fā)生損傷。當(dāng)排氣管路溫度過(guò)高時(shí)，出口溫 升 - 降頻曲線投入使用，逐漸降低泵組的運(yùn)行頻 率。當(dāng)兩路溫度超過(guò)停機(jī)閾值時(shí)，該級(jí)泵組停止 并退出。溫度降低后，泵組再次投入，重新參與系 統(tǒng)的抽真空處理。

如圖 3 所示，三級(jí)泵管路溫度為 71℃，已超 過(guò)設(shè)定報(bào)警溫度 65℃，通過(guò)遠(yuǎn)程云端數(shù)據(jù)庫(kù)判 斷，自動(dòng)調(diào)入溫升 - 降頻曲線，及時(shí)提醒用戶(hù)采 取降頻措施，防止損壞泵體。 如監(jiān)測(cè)出冷卻水流量小于報(bào)警值，將提醒用 戶(hù)檢查冷卻水回路，如有必要調(diào)整調(diào)節(jié)閥。如監(jiān) 測(cè)數(shù)據(jù)未出現(xiàn)異常，則推薦故障解決方案如表2。